IR-300系列

氣體濃度監(jiān)測儀

用于鼓泡供應(yīng)管線的在線氣體濃度監(jiān)測器。用于原料氣體的穩(wěn)定供應(yīng)。

MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）廣泛應(yīng)用于LED制造工藝和光學(xué)器件制造工藝中。該 MOCVD 設(shè)備采用液體/固體材料，通常使用鼓泡方法將其作為汽化氣體輸送到腔室。在該材料氣體供應(yīng)線路中，實(shí)時(shí)氣體濃度監(jiān)測對于實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的薄膜沉積過程非常重要。氣體濃度監(jiān)測儀IR-300系列已安裝在MOCVD設(shè)備的原料氣供應(yīng)線上，可實(shí)現(xiàn)在線高速氣體濃度監(jiān)測。支持原料氣體的穩(wěn)定供應(yīng)?！?/span>

非色散紅外吸收法（NDIR法）

非色散紅外吸收法利用紅外光源發(fā)出的紅外光被氣體分子吸收的現(xiàn)象。
IR-400 系列將具有待測氣體吸收的樣品輸出與未經(jīng)吸收的參考輸出進(jìn)行比較，并將其轉(zhuǎn)換為氣體濃度。通過采用這種雙光束方法，可以實(shí)現(xiàn)長期穩(wěn)定的測量。HORIBA在化合物半導(dǎo)體、汽車、物理和化學(xué)設(shè)備以及環(huán)境測量設(shè)備等廣泛領(lǐng)域中使用這種氣體分析方法有著良好的記錄，并將該技術(shù)應(yīng)用于IR-400系列。

光學(xué)系統(tǒng)由光源、氣室和雙光束探測器組成。
雙光束 NDIR 方法是一種穩(wěn)定的測量方法，擁有 40 多年的經(jīng)驗(yàn)。

紅外氣體分析儀的類型

NDIR（非色散紅外吸收法）

非色散紅外線的縮寫
使用濾光片選擇波長進(jìn)行測量
每個傳感器測量 1-3 個組件
易于配置，適合小型化

FTIR（傅里葉變換紅外光譜）

傅立葉變換紅外的縮寫
使用干涉光譜測量所有波長的光譜
配置復(fù)雜，設(shè)備龐大。
適用于測量多組分混合氣體

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什么是NDIR？

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IR-300系列

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