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技術(shù)文章/ article
更新時(shí)間：2024-01-12 
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在半導(dǎo)體硅板的加工過(guò)程中，越來(lái)越多的制造廠商開始重視對(duì)其壽
命的測(cè)試，這個(gè)測(cè)試涉及對(duì)金屬雜質(zhì)含量及結(jié)晶瑕疵的判斷和分析。
因此日本NAPSON公司結(jié)合SUGAWARA的閃頻儀技術(shù)，研發(fā)設(shè)計(jì)
出針對(duì)硅板壽命測(cè)試的專用檢測(cè)設(shè)備。
壽命測(cè)試是指用氙氣閃光燈對(duì)硅板進(jìn)行短暫照射增加正負(fù)極電子數(shù)
量，在硅體電子數(shù)量伴隨使用時(shí)間減少后，通過(guò)照射增加到原來(lái)的
數(shù)量，恢復(fù)到初始狀態(tài)。P型硅晶體通常會(huì)有大量正極電子，而N型
則是負(fù)極電子偏多，通過(guò)氙氣閃光燈的短暫照射，可以使各自的電
子數(shù)量恢復(fù)到原始狀態(tài)。
多功能分體式氙氣閃頻儀15W系列MS-230DA
| 型號(hào) | MS-230DA |
|---|---|
| 頻閃范圍 | 60 – 26,500 r/min |
| 燈泡 | 15 W |
| 閃光持續(xù)時(shí)間 | ≤6 µs |
| 功能 | 內(nèi)部觸發(fā),外接信號(hào)同步 |
| 電源 | AC100 V±10% |
| 尺寸 (W×H×D) | 270×170×190 mm |
| 重量 | 6.8 kg |
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