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日本otsuka大塚電子 光譜干涉式晶圓厚度計(jì)SF-3的測(cè)量示例

更新時(shí)間：2024-03-15      瀏覽次數(shù)：144

日本otsuka大塚電子 光譜干涉式晶圓厚度計(jì)SF-3的測(cè)量示例

特征

  • 光學(xué)方法可實(shí)現(xiàn)非接觸式、無(wú)損厚度測(cè)量

  • 實(shí)現(xiàn)高測(cè)量重復(fù)性

  • 可實(shí)現(xiàn)高速實(shí)時(shí)拋光監(jiān)控

  • 實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)WD（工作距離）并且易于集成到設(shè)備中

  • 由主機(jī)設(shè)備使用 LAN 通過(guò) TCP/IP 通信進(jìn)行控制

  • 可測(cè)量多層厚度

  • 能夠測(cè)量臨時(shí)晶圓（臨時(shí)鍵合晶圓）各層厚度

映射

■300毫米晶圓兼容測(cè)繪系統(tǒng)

  • 對(duì)齊精細(xì)圖案并提供晶圓厚度和各種厚度信息

  • 配備高精度XY定位平臺(tái)（±2μm以下），實(shí)現(xiàn)高精度定位。

  • 提供晶圓以外的形狀

  • 您可以檢查測(cè)量點(diǎn)周?chē)囊曇?/span>

  • 兼容半導(dǎo)體用300mm晶圓

  • 與 MEMS 和傳感器設(shè)備兼容

 

 

日本otsuka大塚電子 光譜干涉式晶圓厚度計(jì)SF-3的測(cè)量示例

測(cè)量示例

測(cè)量示例
暫時(shí)鍵合晶圓與支撐晶圓

Φ300mm硅片厚度測(cè)量

 

光譜干涉式晶圓厚度計(jì)SF-3


在晶圓等研磨、拋光過(guò)程中，可以非接觸式超高速、高精度測(cè)量晶圓和樹(shù)脂的厚度。













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