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更新時間：2024-04-03 
瀏覽次數(shù)：121日本KOFLOC Kyoto PI質(zhì)量流量控制器 ST-500系列仕樣圖
3.仕様
（1）仕様
產(chǎn)品名稱PI質(zhì)量流量控制器
型式名 ST-500
流量(N2 換算) 100SCCM,300SCCM,500SCCM
1可持續(xù)土地管理、3可持續(xù)土地管理、5可持續(xù)土地管理、10可持續(xù)土地管理30 SLM
閥門操作常閉
最小制御流量 2%F.S.
流量精度 ※１ ≦±1.0%S.P.（10% - 100%）
≤±0.1%F.S.(2%-10%)
再現(xiàn)性 ≦±0.2%F.S.
応答時間 ≦1sec.
必要差圧 50 - 300kPa 200 - 300kPa
最大動作圧 300kPa(G)
耐圧 1MPa(G)
流量精度保証溫度 15 - 40℃
工作溫度·濕度5℃-50℃·0-80%RH(無結(jié)露)
儲存溫度·濕度0℃-60℃·0-80%RH(無結(jié)露)
外部泄漏速率≤1×10-11Pa·m3
/秒(他)
PI功能SV：5-100%時±3psi的壓力變化，
超調(diào)：≦±2%F.S.，穩(wěn)定時間(≦2%S.P.)：≦1秒。
可安裝姿勢沒有指的定的(自由)
接ガス部材質(zhì) SUS316L、 PTFE、 Au、 Co-Ni 合金
密封材料SUS316L，Au
激勵器系統(tǒng)電磁執(zhí)行器
標準継手?面間寸法 1.125 W-Seal 92mm
6.35錄像機124毫米
駆動電源 ※２ 11-25VDC (5VA max.)
數(shù)字接口DeviceNet™
製品重量 約 1 kg
※1：校準氣體(N2)及本公司基準設備測量的精度。
※2：請將本機連接(接地)到框架接地。
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