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英國(guó) Michell Pura 高純氣體露點(diǎn)變送器高純氣半導(dǎo)體制造等應(yīng)用

更新時(shí)間:2024-04-18      瀏覽次數(shù):171

英國(guó) Michell Pura 高純氣體露點(diǎn)變送器高純氣半導(dǎo)體制造等應(yīng)用

露點(diǎn)變送器 - Michell Pura

高純氣體露點(diǎn)變送器

特點(diǎn)

測(cè)量范圍低可達(dá) -120°Cdp (1ppbV)

穩(wěn)定而可重復(fù)的測(cè)量

模擬和數(shù)字輸出

安裝簡(jiǎn)單

VCR 過(guò)程連接

可選的顯示/報(bào)警單元

設(shè)計(jì)緊湊

快速響應(yīng)

可選危險(xiǎn)區(qū)域認(rèn)證

校準(zhǔn)更換服務(wù)


image.png

這款小巧的變送器擁有堅(jiān)固而獨(dú)立的傳感器,用來(lái)測(cè)量高純氣體中的微量水分含量。

Pura使用和安裝簡(jiǎn)單,可選兩線制、三線制和危險(xiǎn)區(qū)域的型號(hào),是一款完的全可自定義的產(chǎn)品,可以滿足各種特殊需求。

規(guī)格

傳感器

 

傳感器類型

密析爾先進(jìn)的金屬氧化物陶瓷濕度傳感器

量程

-120 - -40°Cdp (校準(zhǔn)范圍 -100 - -40°C)

精度

±1°C -40 ~ -60°Cdp
±2°C -60 ~ -100°Cdp
±4°C -100 ~ -120°Cdp (估計(jì))

工作壓力

最小 10-7 Pa (10-9 torr)
最大 24 MPa (240 barg)

工作溫度

-40 ~ +60°C

流量速率

1 ~ 5 Nl/min

電氣

 

電源

標(biāo)稱電壓 24 V DC, 10-28 V DC 最大電流 25 mA 2或3線制配置

輸出

PUR-TX-2W: 4 ~ 20mA 2線制
PUR-TX-3W: 4~ 20mA 3線制
PUR-AOL-SEN : 數(shù)字 (RS485)

顯示電纜

PUR-OL & PUR-IS-OL: 2m (標(biāo)準(zhǔn)) / 5 or 10m (可選)
PUR-AOL: 2m (標(biāo)準(zhǔn)) / 5 or 10m (可選)

機(jī)械l

 

傳感器模塊

高級(jí)版 OEM 版: 冷拔不銹鋼, 0.1 - 0.2 Ra µm 內(nèi)部電拋光

壓力連接

高級(jí)版和 OEM 版: ¼" VCR 公頭連接
Pura 傳感器: ½" VCR 公頭連接

安裝配置

高級(jí)和 OEM 版: 120mm 間距, 通過(guò)氣體端口密封
管道要求零間隙
2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 對(duì)角線 20 x 20mm 間隙
Pura 傳感器: 適合 ½" VCR 接口

外形尺寸

高級(jí)版和 OEM 版: 120 x 35 x 150mm (w x d x h)
Pura 傳感器: 132 x Ø35mm

重量

高級(jí)版和 OEM 版: 450g
Pura 傳感器: 180g

包裝

Pura 高級(jí)版: 雙層包裝和 UHP 惰性氣體密封
Pura OEM & Pura 傳感器: 單層包裝與 1000 gauge聚乙烯
所有選項(xiàng): 單獨(dú)裝運(yùn),有海綿和紙箱保護(hù)
Pura傳感器表面有防護(hù)罩來(lái)防止運(yùn)輸和裝卸時(shí)的損壞

更換服務(wù)

可用Pura 傳感器 (SEN) ½" VCR 連接

顯示

高級(jí)版在線顯示: PUR-AOL

在線顯示: PUR-OL

測(cè)量單位

°F, °Cdp; ppmV 和 ppbV 用戶可選量程和分辨率

由兩線制傳感器輸入定義的簡(jiǎn)單顯示

二次測(cè)量變量

通過(guò)外部傳感器的壓力 0-30 MPa (300 variable barg)
用戶可以完的全自定義任何行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)傳感器
自動(dòng)補(bǔ)償 ppmV 和 ppbV

PUR-TX-2W & PUR-IS-2W 沒(méi)有管線壓力校正輸入 ppmV

電源

通用 85 ~ 265 V AC; 95 ~ 370 V DC

100~ 240 V AC (+10, -15%) 50/60 Hz

防護(hù)等級(jí)

IP54 (NEMA 12); IP66 (NEMA 4X) 僅適用于帶可選蓋的前面板

IP65 前面板 (IP20 后面板)

工作溫度

0 ~ +50°C

0 ~ +50°C

繼電器

2 個(gè) 10 A / 240 V c/o 用戶可完的全配置: 可適應(yīng)所選設(shè)備的所有量程 + 傳感器故障報(bào)警功能

報(bào)警 1 繼電器: 單級(jí)接觸, 額定 3 A @ 250 V AC
報(bào)警 2 繼電器: 轉(zhuǎn)換觸點(diǎn), 額定 5 A @ 250 V AC

顯示分辨率

5 位

4 位

輸出: 模擬

4-20 mA 用戶可完的全自定義和可擴(kuò)展量程

0-20 或 4-20 mA 用戶可完的全自定義和可擴(kuò)展量程

輸出: 數(shù)字

RS232: 提供雙通道通信 -用戶可完的全數(shù)字訪問(wèn)和所有設(shè)置選項(xiàng)的可用性

RS232: 提供雙通道通信 - 用戶可完的全數(shù)字訪問(wèn)和所有設(shè)置選項(xiàng)的可用性

選項(xiàng)

 

 

電源

18 ~ 36 V AC; 9 ~ 60 V DC

24 V DC

繼電器

1 或 2 路 5 A 繼電器 (最多 4 路) n/o 類型用戶可完的全自定義: 可適應(yīng)所有量程 + 全部設(shè)備可選 + 傳感器故障報(bào)警功能

1 路繼電器可選 - 參考工廠

輸出: 模擬

0-10 V 用戶可完的全自定義和可擴(kuò)展量程

0 ~ 10 V 輸出 采用 500 Ω 并聯(lián)電阻

輸出: 數(shù)字

RS485

 

 

 

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