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ADTEC Plasma Technology高周波射頻電源TXR、AX系列的產(chǎn)品介紹

更新時間:2024-05-21      瀏覽次數(shù):99

ADTEC Plasma Technology 產(chǎn)品

高周波射頻電源
  • image.png

  • 設(shè)計可承受高反射高耐用的具有高信賴度的產(chǎn)品

  • 提供降低成本的產(chǎn)品

  • 安裝了最新的CPU
    (高速響應(yīng)性能UP)

  • 支持新的通訊方式
    (可對應(yīng)EtherCAT)


自動匹配阻抗設(shè)備
  • image.png

  • 可實現(xiàn)高速自動整合

  • 監(jiān)視史密斯圓圖上的腔室阻抗

  • 使用專用軟件實時顯示,
    行波,反射波電力功率等

IDX產(chǎn)品

直流電源
  • image.png

  • 可在一臺電源上實現(xiàn)多種輸出模式
    可實現(xiàn)可變Duty的雙極輸出
    可實現(xiàn)直流及直流脈沖方式輸出

  • 搭載高速電弧遮斷功能


微波電源
  • image.png

  • 應(yīng)用于等離子處理設(shè)備

  • 不受高電壓及振動部產(chǎn)生的散熱影響,并且設(shè)置環(huán)境也適合廣大范圍 



  • TXR,TXL,TXM,TXH系列

    image.png

    AX系列

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    • 可承受高反射的AB類線性AMP
      高可靠性和高耐用性設(shè)計

    • 對應(yīng)300W~30kW

    • 安裝了最新的CPU
      (高速響應(yīng)性能UP)

    • 支持新的通訊方式
      (可對應(yīng)EtherCAT)

    • 300W~對應(yīng)



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