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波蘭prevac基本質(zhì)譜系統(tǒng)032 PRIMS的產(chǎn)品介紹

更新時間:2024-08-27      瀏覽次數(shù):53

簡單且功能齊全的濺射沉積裝置,用于可重復(fù)的薄膜層應(yīng)用。即插即用的緊湊設(shè)計。 

工藝室包含3個磁控濺射源端口(用于金屬和無機物),采用濺射向下配置安裝。最多可同時使用兩個源(共沉積)基底臺適用于直徑最大2英寸的樣品,具有加熱和旋轉(zhuǎn)選項。

 

特征

1.即插即用結(jié)構(gòu) 

2.易于使用的移動裝置,可快速測試和濺射涂層

3.處理室配有大型真空門,方便更換靶材或基材 

4.配備MS2 100 ISO-K 磁控管源和新型M600DC-PS 電源

5.可承載直徑達 2英寸樣品 的基片臺

6.加工室直徑:Ø 355 毫米 

7.3 個2 英寸磁控管源端口 

8.1 個視口 – 帶百葉窗的觀察窗 

9.防止交叉污染的保護屏障 

10.基準(zhǔn)壓力范圍 10 -7 mbar 

11.帶真空計的快速抽氣系統(tǒng) 

12.通過質(zhì)量流量控制自動計量氬氣

 

描述

快速泵送系統(tǒng)(帶有手動節(jié)流閥)與小容量的工藝室相結(jié)合,使您能夠在短時間內(nèi)達到基準(zhǔn)壓力。

工藝室配備HV標(biāo)準(zhǔn)的連接法蘭,用于連接現(xiàn)有和未來的設(shè)備,包括: 最多 3 個2” 磁控管源,基板操縱器,泵送系統(tǒng)m,防止交叉污染的保護盾,石英天平,視口 - 帶百葉窗的觀察窗,真空計,高溫計。

 

 

 

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