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您的位置:首頁(yè)  -  產(chǎn)品中心  -  儀表,電子設(shè)備  -  ulvac-kiko  -  DTC-41Kulvac-kiko真空泵 隔膜型干泵 真空螺桿泵

ulvac-kiko真空泵 隔膜型干泵 真空螺桿泵

ulvac-kiko真空泵 隔膜型干泵DTC-41K
所有接觸氣體的部件全部采用PTFE與FPM材料。
適合吸排有腐蝕性或有機(jī)溶劑氣體。
高真空至1000Pa。

  • 產(chǎn)品型號(hào):DTC-41K
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2023-04-11
  • 訪  問(wèn)  量:404
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產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌性能耐腐蝕
材質(zhì)其他驅(qū)動(dòng)方式其他
流量01m3/h

ulvac-kiko真空泵  隔膜型干泵DTC-41K

ulvac-kiko真空泵  隔膜型干泵DTC-41K



通過(guò)橡膠薄膜(膜片)的往復(fù)運(yùn)動(dòng)而排氣的真空泵。 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于操作。 DTC系列是高耐腐型。

特點(diǎn)

  • 所有接觸氣體的部件全部采用PTFE與FPM材料。

  • 適合吸排有腐蝕性或有機(jī)溶劑氣體。

  • 高真空至1000Pa。

  • 小型。

規(guī)格

項(xiàng)目單位50Hz60Hz
實(shí)際抽速L/min4046
極限壓力Pa1.0×103
kPa-100.3*1
電機(jī)W100
重量kg10.2
進(jìn)出氣管道直徑mmO.D.φ9×I.D.φ6 (G 1/4)
環(huán)境溫度0~40
尺寸mm136(W) × 288(L) × 202(H)
RoHS對(duì)應(yīng)

MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎(chǔ)上,提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號(hào)專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)。

特點(diǎn)

  • 通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理,以防腐蝕。

  • 采用ULVAC特設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子軸,實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

  • 從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

  • 用途

    • 半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。

    • 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

    • 鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

    • 醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

  • 規(guī)格

    型式MS120AMS600AMS1200A
    最大排氣速度 *1m3/h115560980
    到達(dá)壓力Pa≦0.6≦0.1
    電源電壓200V Class:3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class:3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
    消費(fèi)電力概略值 *2kW2.43.13.1
    冷卻水量L/min>4.0
    Purge gas量 *1SLM0~50
    最大水蒸氣處理量 *1*3kg/h1.5
    噪音值 *1dB(A)616264
    吸氣口KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)ISO-F-80ISO-F-100
    排氣口KF40
    質(zhì)量 *4kg139241264
    適用規(guī)格CE、cTUVus



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