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ulvac-kiko隔膜型干泵 膜片泵 真空泵 離子濺射儀

ulvac-kiko隔膜型干泵 膜片泵 真空泵DAT-50D/DAT-50DA
將架臺(tái)上的油擴(kuò)散泵,油回轉(zhuǎn)泵,皮拉尼真空計(jì),閥門配管,電氣系統(tǒng),壓力測(cè)量口等必要的部件緊湊組合為一體的,配有鐘罩升降設(shè)備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于大型基板的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。

  • 產(chǎn)品型號(hào):DAT-50D/DAT-50DA
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2023-04-11
  • 訪  問  量:370
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ulvac-kiko隔膜型干泵 膜片泵 真空泵DAT-50D/DAT-50DA

ulvac-kiko隔膜型干泵 膜片泵 真空泵DAT-50D/DAT-50DA




將架臺(tái)上的油擴(kuò)散泵,油回轉(zhuǎn)泵,皮拉尼真空計(jì),閥門配管,電氣系統(tǒng),壓力測(cè)量口等必要的部件緊湊組合為一體的,配有鐘罩升降設(shè)備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設(shè)備。

適用于大型基板的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。


特點(diǎn)

  • 玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部,有良好的操作性。

  • 可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。

  • 通過追加蒸發(fā)電源和電極,可同時(shí)蒸發(fā)或多層蒸發(fā)。

  • 更改為EB規(guī)格,可成膜高熔點(diǎn)的材料。

  • 蒸發(fā)設(shè)備帶有腳輪,移動(dòng)更為容易。

  • 帶有調(diào)節(jié)器,可確保設(shè)置的安全性。

規(guī)格

型式VPC-1100
真空性能極限壓力4.0×10-4Pa
1.3×10-4Pa(液體氮?dú)馐褂脮r(shí))
排氣時(shí)間4.0×10-3Pa/10min
10-4Pa臺(tái)/10min(液體氮?dú)馐褂脮r(shí))
真空槽真空槽玻璃鐘罩(內(nèi)徑Φ390mm×高350mm)
饋通圈20端口(側(cè)面14/底面6)
基板推薦尺寸?最大尺寸□50mm ? □220mm(Max)
電源系統(tǒng)蒸發(fā)電極構(gòu)成3點(diǎn)式
蒸發(fā)電源?數(shù)量SEREM PSE-150C?1 式
0~10V 150A(Max)
排氣系統(tǒng)主泵油擴(kuò)散泵(水冷) 1100L/sec
液體氮?dú)獠都?/span>
補(bǔ)助泵油回轉(zhuǎn)泵 200L/min、2臺(tái)
油霧捕集器選項(xiàng)
操作系統(tǒng)主閥蝶閥
補(bǔ)助閥三通閥
自動(dòng)泄露閥選項(xiàng)
操作手動(dòng)
控制系統(tǒng)皮拉尼真空計(jì)GP-1G
電離真空計(jì)選項(xiàng)
設(shè)置最大尺寸  本體1235mm(W)×836mm(D)×2155mm(H)
      電源設(shè)備本體收納









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