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美國(guó)Laurell ø200mm旋涂機(jī)

美國(guó)Laurell ø200mm旋涂機(jī) WS-650-8B
Laurell WS- 650-8 B 旋涂機(jī) 結(jié)構(gòu)緊湊,功能。 這款 650 系列涂布機(jī)系統(tǒng)可容納直徑達(dá)ø 200 毫米的晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板,最大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM(基于直徑ø 100 毫米的硅晶圓)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):WS-650-8B
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-09-02
  • 訪  問(wèn)  量:155
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 美國(guó)Laurell ?200mm旋涂機(jī) WS-650-8B 

Laurell WS- 650-8 B 旋涂機(jī) 結(jié)構(gòu)緊湊,功能。 這款 650 系列涂布機(jī)系統(tǒng)可容納直徑達(dá)? 200 毫米的晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板,最大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM(基于直徑? 100 毫米的硅晶圓)。

Laurell 獨(dú)的特的內(nèi)部碗狀設(shè)計(jì)消除了濺回現(xiàn)象,因此無(wú)需安裝“濺水環(huán)"。我們的排氣排水適配器配有可拆卸儲(chǔ)水箱,既實(shí)用又方便。

封閉式碗狀設(shè)計(jì),加上過(guò)程控制器的精確性,可使大多數(shù)涂層材料在靜止?fàn)顟B(tài)下干燥,從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內(nèi)部關(guān)閉,以提供重疊密封,蓋子內(nèi)部有一個(gè)特殊的排水溝,用于將流體引導(dǎo)到系統(tǒng)后部,以防止化學(xué)品意外滴落到基材上。

 美國(guó)Laurell ?200mm旋涂機(jī) WS-650-8B 

Laurell WS- 650-8 B 旋涂機(jī) 結(jié)構(gòu)緊湊,功能。 這款 650 系列涂布機(jī)系統(tǒng)可容納直徑達(dá)? 200 毫米的晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板,最大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM(基于直徑? 100 毫米的硅晶圓)。

Laurell 獨(dú)的特的內(nèi)部碗狀設(shè)計(jì)消除了濺回現(xiàn)象,因此無(wú)需安裝“濺水環(huán)"。我們的排氣排水適配器配有可拆卸儲(chǔ)水箱,既實(shí)用又方便。

封閉式碗狀設(shè)計(jì),加上過(guò)程控制器的精確性,可使大多數(shù)涂層材料在靜止?fàn)顟B(tài)下干燥,從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內(nèi)部關(guān)閉,以提供重疊密封,蓋子內(nèi)部有一個(gè)特殊的排水溝,用于將流體引導(dǎo)到系統(tǒng)后部,以防止化學(xué)品意外滴落到基材上。


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