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日本irs 半導體過程溫度監(jiān)控器 NTM-DeLTA/NTM-ETA特征1.原位、非接觸式過程溫度監(jiān)測2.實時發(fā)射率和溫度測量(同一測量點)3.實現(xiàn)高靈敏度和寬動態(tài)范圍4.支持高采樣率(~3kHz)5.接口豐富6.ETA和DeLTA配合使用可自動輸入發(fā)射率
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日本irs 半導體過程溫度監(jiān)控器 NTM-DeLTA/NTM-ETA
特征
1.原位、非接觸式過程溫度監(jiān)測
2.實時發(fā)射率和溫度測量(同一測量點)
3.實現(xiàn)高靈敏度和寬動態(tài)范圍
4.支持高采樣率(~3kHz)
5.接口豐富
6.ETA和DeLTA配合使用可自動輸入發(fā)射率
目的
1.RTP流程
2.物理氣相沉積工藝
3.CVD工藝
4.蝕刻工藝
5.MOCVD工藝等
我們的實時發(fā)射率校正型半導體工藝溫度監(jiān)控器可以實時測量和校正目標晶圓的發(fā)射率,這在以前是不可能的,因此無論晶圓薄膜的類型如何,都可以實現(xiàn)精確的溫度測量。
日本irs 半導體過程溫度監(jiān)控器 NTM-DeLTA/NTM-ETA
特征
1.原位、非接觸式過程溫度監(jiān)測
2.實時發(fā)射率和溫度測量(同一測量點)
3.實現(xiàn)高靈敏度和寬動態(tài)范圍
4.支持高采樣率(~3kHz)
5.接口豐富
6.ETA和DeLTA配合使用可自動輸入發(fā)射率
目的
1.RTP流程
2.物理氣相沉積工藝
3.CVD工藝
4.蝕刻工藝
5.MOCVD工藝等
我們的實時發(fā)射率校正型半導體工藝溫度監(jiān)控器可以實時測量和校正目標晶圓的發(fā)射率,這在以前是不可能的,因此無論晶圓薄膜的類型如何,都可以實現(xiàn)精確的溫度測量。
公司簡介
深圳九州工業(yè)品有限公司,坐落于深圳市,是一
家工業(yè)品綜合服務商。主要包括機電設(shè)備、電子
產(chǎn)品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷售及其它國內(nèi)貿(mào)
易、經(jīng)營進出口等業(yè)務。搭建工業(yè)品供應鏈,采
用與 MRO分銷商結(jié)盟的方式,把零散采購訂單集
中處理,流程簡化,提供一站式供應服務。在美
國、德國、日本、韓國、中國臺灣建專業(yè)國際采
購團隊、技術(shù)顧問、銷售團隊為各種領(lǐng)域提供各
類高品質(zhì)的工業(yè)產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的整合服務。通過與
廠家建立快捷、有效的溝通,和眾多國外生產(chǎn)廠
家建立了長久合作伙伴關(guān)系。
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