products category
住友的臭氧發(fā)生器采用板放電方式,利用電能將部分原料氣體轉(zhuǎn)化為臭氧。
采用高純度陶瓷放電表面來產(chǎn)生清潔的臭氧氣體,最大限度地減少顆粒和金屬污染的產(chǎn)生。作為排放方式,我們實(shí)現(xiàn)了業(yè)界領(lǐng)的先的臭氧濃度400g/m 3 (N)。
此外,我們還使用我們獨(dú)的特的技術(shù)來處理無氮臭氧發(fā)生器,以防止金屬污染。
被眾多客戶在半導(dǎo)體、液晶等制造過程中的干法和濕法工藝中使用,并獲得了好評(píng)。
半導(dǎo)體
各種晶圓
FPD(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
光罩
引的領(lǐng)
其他電子器件材料的干法和濕法工藝
這是一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)系列,最大濃度為400g/m 3 (N)。
規(guī)格 | |
---|---|
臭氧流量 | 1L/min~24L/min [210g/m 3 (N)] |
臭氧供給壓力 | 最大0.2MPa |
冷卻水溫度 | 20℃±2℃ |
氮添加率 | 氧氣流量的0.1% |
外形尺寸 | 寬483毫米×深453毫米×高266毫米 |
重量 | 30~45公斤 |
電源 | AC200V 3相 |
特征 |
---|
產(chǎn)生400g/m 3 (N)的高濃度臭氧 |
可安裝在19英寸機(jī)架上的單元類型 |
從小流量到大流量的豐富產(chǎn)品陣容 |
高可靠性放電電池,耐壓高,壽命長(zhǎng) |
快速上升和出色的濃度響應(yīng) |
通過連接臭氧濃度計(jì)(反饋控制)實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的濃度穩(wěn)定性 |
CE/NRTL認(rèn)證,符合SEMI標(biāo)準(zhǔn) |
燃?xì)夤艿揽蛇x用氟樹脂和SUS鋼。 |