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結(jié)合了GRC/GRP/GRF系列并配備了外圍設(shè)備的系列。
可以進(jìn)行廣泛的定制來滿足您的需求。
設(shè)備實例1《高濃度多氣體供給臭氧發(fā)生器SGRP-03JS》 | |
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臭氧濃度 | 350克/立方米(牛) |
臭氧流量 | 15L/min《5L/min×3線》 |
冷卻水溫度 | 20℃±2℃ |
外形尺寸 | 寬570mm×深850mm×高1,870mm |
重量 | 360公斤 |
電源 | AC200V 3相 |
設(shè)備實例2《無氮高濃度臭氧發(fā)生器SGRF-03JA》 | |
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臭氧濃度 | 400克/立方米(牛) |
臭氧流量 | 20升/分鐘 |
冷卻水溫度 | 5℃ |
外形尺寸 | 寬570mm×深850mm×高1,836mm |
重量 | 350公斤 |
電源 | AC200V 3相 |
特征 |
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配備GRC/GRP/GRF系列,可根據(jù)客戶需求定制大流量、多供氣等。 |
內(nèi)置臭氧濃度計,實現(xiàn)優(yōu)異的濃度穩(wěn)定性(反饋控制) |
CE/NRTL認(rèn)證,符合SEMI標(biāo)準(zhǔn) |
燃?xì)夤艿揽蛇x用氟樹脂和SUS鋼。 |