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德國polytec 顯微式激光測振儀MSA-600測量MEMS系統(tǒng)的3D動態(tài)特性及形貌特性 表面形貌、動態(tài)特性分析及可視化是顯微結構(如MEMS器件)測試和開發(fā)的關鍵。這對于驗證有限元算法、確定串擾影響和測量表面形變等都至關重要。 MSA-600-M/V型的測量帶寬高達25MHz,適用于MEMS、MEMS麥克風和其它微系統(tǒng)的振動測試。
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德國polytec 顯微式激光測振儀MSA-600
測量MEMS系統(tǒng)的3D動態(tài)特性及形貌特性
表面形貌、動態(tài)特性分析及可視化是顯微結構(如MEMS器件)測試和開發(fā)的關鍵。這對于驗證有限元算法、確定串擾影響和測量表面形變等都至關重要。
MSA-600-M/V型的測量帶寬高達25MHz,適用于MEMS、MEMS麥克風和其它微系統(tǒng)的振動測試。
全新研發(fā)的MSA-600-X/U型的測量帶寬更是高達2.5GHz,尤其適用于高頻MEMS諧振器、微聲器件如SAW、BAW等振動測試。
基于MEMS系統(tǒng)的MSA-600顯微式激光測振儀,集多種測量功能于一體,其不僅能測量面內(nèi)振動和面外振動,還能測量表面形貌。系統(tǒng)具有極的高的靈活性和精度,以滿足顯微結構未來的發(fā)展需要。顯微式激光測振儀可提供精確的三維動態(tài)和靜態(tài)響應數(shù)據(jù),在降低開發(fā)和制造成本的同時提高產(chǎn)品性能,從而縮短設計周期,簡化故障處理,提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
高性能激光多普勒測振儀能快速進行實時測量,位移分辨率達亞pm級。白光干涉儀可以在幾秒鐘內(nèi)提供數(shù)以百萬計的三維表面形貌數(shù)據(jù)。MSA-600的用戶界面直觀,操作簡便,是一款用于研究、開發(fā)和質(zhì)量控制的功能強大的光學測量系統(tǒng)。系統(tǒng)易于集成至常見的商用探針臺上,從MEMS原型設計到測試和故障排除,其能在各個開發(fā)階段給您提供幫助,從而降低生產(chǎn)成本并縮短產(chǎn)品上市時間。
德國polytec 顯微式激光測振儀MSA-600
測量MEMS系統(tǒng)的3D動態(tài)特性及形貌特性
表面形貌、動態(tài)特性分析及可視化是顯微結構(如MEMS器件)測試和開發(fā)的關鍵。這對于驗證有限元算法、確定串擾影響和測量表面形變等都至關重要。
MSA-600-M/V型的測量帶寬高達25MHz,適用于MEMS、MEMS麥克風和其它微系統(tǒng)的振動測試。
全新研發(fā)的MSA-600-X/U型的測量帶寬更是高達2.5GHz,尤其適用于高頻MEMS諧振器、微聲器件如SAW、BAW等振動測試。
基于MEMS系統(tǒng)的MSA-600顯微式激光測振儀,集多種測量功能于一體,其不僅能測量面內(nèi)振動和面外振動,還能測量表面形貌。系統(tǒng)具有極的高的靈活性和精度,以滿足顯微結構未來的發(fā)展需要。顯微式激光測振儀可提供精確的三維動態(tài)和靜態(tài)響應數(shù)據(jù),在降低開發(fā)和制造成本的同時提高產(chǎn)品性能,從而縮短設計周期,簡化故障處理,提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
高性能激光多普勒測振儀能快速進行實時測量,位移分辨率達亞pm級。白光干涉儀可以在幾秒鐘內(nèi)提供數(shù)以百萬計的三維表面形貌數(shù)據(jù)。MSA-600的用戶界面直觀,操作簡便,是一款用于研究、開發(fā)和質(zhì)量控制的功能強大的光學測量系統(tǒng)。系統(tǒng)易于集成至常見的商用探針臺上,從MEMS原型設計到測試和故障排除,其能在各個開發(fā)階段給您提供幫助,從而降低生產(chǎn)成本并縮短產(chǎn)品上市時間。
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